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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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閱讀：359 發(fā)布時(shí)間：2020/10/10
1、按照設(shè)備操作方法規(guī)范使用設(shè)備；（如相關(guān)設(shè)備使用文檔資料遺 失可聯(lián)系我司售后工程師。） 2、留意實(shí)驗(yàn)室電壓是否穩(wěn)定，電壓不穩(wěn)可能會(huì)導(dǎo)致設(shè)備保險(xiǎn)絲熔斷 以及射頻燈源損壞； 3、定期清潔真空腔內(nèi)壁，以免內(nèi)壁上的污染物積累成為污染源； （真空腔內(nèi)壁清潔方法可參見(jiàn)標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室玻璃器皿清潔方式，如： 可用無(wú)塵布/無(wú)塵紙蘸一點(diǎn)酒精、丙酮或異丙醇輕輕擦拭內(nèi)壁表面。 如果用標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)室玻璃器皿清洗方法不能去除污染物和污染物影 響等離子體實(shí)驗(yàn)時(shí)，等離子體腔室可能需要更換。） 4、平時(shí)注意真空泵-等離子腔體尾部的管路連接件以及三通閥與艙 門(mén)的接口處是否松動(dòng)，如有松動(dòng)請(qǐng)及時(shí)擰緊。 5、不建議將等離子和真空泵連續(xù)運(yùn)行時(shí)間超過(guò) 1 小時(shí)的處理，且在 處理完畢后，設(shè)備的主電源應(yīng)關(guān)閉，以防止過(guò)熱和可能的損壞； 6、配套油泵泵浦系統(tǒng)留意泵油顏色和油位變化，并及時(shí)添加和更換 泵油；配套干泵泵浦系統(tǒng)若實(shí)驗(yàn)室濕度高需要定期排水汽，使用時(shí) 間達(dá)到 5000 小時(shí)建議做一次維護(hù)保養(yǎng)； 7、當(dāng)真空腔室內(nèi)處于低壓狀態(tài)時(shí)，不要強(qiáng)行打開(kāi)前蓋艙門(mén)，因?yàn)檫@ 會(huì)損害真空腔室。 8、請(qǐng)勿將輸入電流要求超過(guò) 7 安培的真空泵電源線插頭接入等離子 清洗機(jī)后部真空泵電源接口；
